微小位移检测¶

实现微小位移¶

压电陶瓷可以实现电能到机械能转换，

以光的波长作为标准量，可以获得高的测量精度和准确度。

用干涉法测量微小位移是利用干涉场中确定位置干涉条纹的移动数来确定位移量。

干涉测量基于光波叠加原理。当两束光满足频率、振动方向相同且相位差恒定的条件，两束光会产生干涉现象。

由平面反射镜 M1 和 M2 反射的两束光经分束片合束，在探测器光敏面处产生干涉图样。当电动平移台带动平面反射镜 M1 前后移动时，明暗相间的干涉条纹将向外扩展（或向内收缩），并在探测器光敏面中心处“产生” （或“消失”）明条纹。明暗条纹变化数和位移的关系为

\(\Delta L=\frac{\lambda}{2}N\)

式中：\(\Delta L\) 为位移，\(N\) 为变化的条纹数，\(\lambda\) 为激光的波长。